3H-5
平面型トランジスタ、SGTを用いたシステムLSIのパターン面積の比較検討
○小玉貴大，渡辺重佳（湘南工科大）
SGT(Surrounding Gate Transistor)、平面型トランジスタを用いて設計したインバータ、NAND等の簡単な論理回路、1ビットフルアダー等のパターン面積の比較を、拡散層上のコンタクトとゲート間距離、ゲート膜厚に着目して行った。その結果、入力数が少なく、チャネル幅が大きく、コンタクトとゲート間距離が狭く、ゲート膜厚が薄いトランジスタで平面型に対するSGTのパターン面積の縮小効果が大きいことがわかった。