1C-03
大規模設計データのための特定形状ポリゴン分布の高速可視化
○庄司修二,小山明夫(山形大)
近年,集積回路の高密度化と微細化により設計データの大規模化が進み特定パターンに起因する欠陥も増加している.設計データにおける欠陥誘因パターンの分布情報は,欠陥検査や設計過程へのフィードバック情報として有益であると考えられる.そこで,既に提案している同形ポリゴンの高速検索法を応用し,大規模設計データに含まれるポリゴンを,同じ形状のポリゴングループに高速に分類する.欠陥誘因の可能性を持つ形状のポリゴンを指定し,分類結果の同形状のポリゴングループを参照することで,分布状態の可視化を実現する.

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