情報処理学会 第76回全国大会講演要旨

　本稿では真空ポンプの音響診断手法について説明する。
　半導体製造装置に搭載される真空ポンプは、稼働率向上のために
常時運転している。部品摩耗による故障のリスクを防ぐため、現在
は定期メンテナンスを行っている。しかし、メンテナンス間隔は経
験によって決定されたものであり、機器個体差の無視などの問題が
ある。
　上記問題に対し、機器特徴に則した故障診断手法を開発すること
で、メンテナンスの最適化を行う。その際、診断材料として動作音
に着目する。これは実フィールドにおいて音が診断指標として使わ
れていることに起因する。
　実験室・実フィールドでの動作音を解析した結果、二つの故障の
特徴を発見した。結果を元に故障進行のモデル化を行い、簡易な精
度検証を行った。