情報処理学会 第75回全国大会講演要旨

LSIには様々な信頼性問題が存在する。昔は経年劣化の信頼性は製造課題とされてきたが微細化が進むにつれ設計で考慮することが多くなってきた。信頼性問題には、トランジスタでは負バイアス温度不安定性やホットキャリア、配線ではエレクトロマイグレーションがある。またランダムテレグラムノイズのようなばらつきが性能に悪影響を与えるものもある。本稿では性能劣化につながる種々の信頼性問題を統合的に扱い、回路の動作を解析する方法を示す。